曾有研究------，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成---盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的hf和sif，经常会用---、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的---转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
喷漆房废气处理设备风量计算方法
设备风量=喷漆房体积（长×宽×高）×换气常数（60～100次）
公示中的换气常数60～100次是经验值。如果喷漆房作业时间很短，喷漆量很小，则常数可以选择60次；如果喷漆房作业时间较短，喷漆量较小，则常数可以选择70～80次；如果喷漆房作业时间长，喷漆量大，则常数可以选择90～100次，甚至更多。
近年来还出现了一些新的处理工艺，如下： (1)生物分解法。该法通过附着在潮湿介质上的活性微生物，废气工程运维，将vocs转化为简单的无机物或细胞组成物质。与传统的废气处理技术相比，生物处理技术具有效果好、投资及运行费用低、安全性好、无二次污染等优点。但是为了进一步实现---的工业化应用，仍有很多问题需要解决，包括培养等。(2)放电等离子体。该法通过高电压放电形式，获得非热平衡等离子体，产生高能电子发生置换反应，生成小分子无机物，变为无的物质，具有工艺简单、流程短、可操作性好等特点，---是在节能方面有很大的潜力。但目前该技术仍未能解决一些关键的科学问题，导致了其尚未走近实用化行列。 (3)光催化氧化法。在常温、常压条件下，能将废气中的有机物分解为无机物，有较大的应用价值，具有反应、不受溶剂分子影响、易回收、反应速率快等优点，但这项技术还存在几个关键的技术难题，因此目前仍停留在实验研究阶段，尚未得到广泛的工业化应用。 (4)膜分离技术。该技术是目前废气处理领域的研究---，具有流程简单、vocs回收率高、能耗低、无二次污染等优点，国外有许多成功的范例。废气处理膜分离工艺包括：蒸汽渗透(vp)、气体膜分离(gms／vmp)和膜接触器等。目前膜分离技术应用范围尚小，并未大面积推广。
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