在处理含氟的有机废气时，一般采用吸收净化法和吸附净化法，这里我们主要介绍一下吸收净化法。 在我国很多工业生产的过程中，对含氟废气进行处理时，都会采用封闭循环水吸收和碱液吸收工艺。处理过程为：吸收器出来的尾气经旋风除沫，然后在进入洗涤塔，进入洗涤塔后，废气处理设备运维，用污水循环泵将吸收液循环，用于进一步吸收。尾气净化后，再经过除沫器，后由风机送入尾气烟囱进行排空。在此过程中，由洗涤塔出来的含氟污水，会有一部分经循环泵进行自身循环，还有一部分会用泵送入旋风除沫器，进入除沫器的一部分含氟污水，在除沫器内会进液接触吸收。
由于实验室数量众多，且各个实验室废气收集风量较大，为有效治理废气，满足规范要求，需设置多套废气处理装置，因而需要提供大量场地放置废气治理装置。但由于实验楼位于校园，位置敏感，因而综合比较，废气治理装置宜放置于实验楼楼顶。实验楼屋面同时需要安装空调机组、水塔等其它设施，因而用于废气治理设备放置的场地非常有限，对废气治理装置的设计提出了挑战。
实验室废气采用了敞开式集气罩和半敞开式通风柜进行收集，为将废气收集，需提高集气罩罩口风速和通风柜风速，因而导致废气的收集风量较大，一个实验室通常设置2-8个通风柜，单个通风柜风量约为2000m3/h，因而单个实验室废气风量约为4000～16000m3/h。由于废气的风量较大，实验室使用剂量较小，造成废气具有风量大浓度低的特点。
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