挥发性有机物的理化性质千差万别，毒理性质、治理效果各有不同，因而相应的治理工艺也较为多样化，目前广泛应用的技术有冷凝法、吸收法、吸附法、光催化、生物法、低温等离子、燃烧法等工艺。每一种技术均有其适用对象和各自的优缺点。冷凝法适用于治理小风量高浓度废气，广泛应用于回收溶剂；吸收法适用于处理水溶性较好的有机物，常用作废气预处理工艺;燃烧法适用于高浓度高热值排放稳定且不含卤素的有机废气;生物法和光催化适用于有机废气的简单除臭，废气系统维修，常用于污水站废气治理；吸附法适用于大多数有机物的吸附，具有较好的普适性，并适用于处理低浓度、间歇性排放有机废气。
废气处理系统中的电能主要是风机电能消耗，因此在设备前期设计过程中首先要考虑废气处理设备与车间废气源的距离，减少风管长度，合理计算风量，降低进入废气处理设备的风量，减少转轮数量，避免设备选型过剩造成的电能浪费；其次要考虑在设备运行中设置节能模式，设备的运行频率与车间的生产状态进行连锁等；在设备使用过程中，人员应合理地选择开机时间，使开机时间与车间生产设备步调一致；要及时更换设备滤材，减小风压造成的风机运行频率过大导致的电能浪费等。
曾有研究------，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成---盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的hf和sif，经常会用---、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的---转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
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