在处理含氟的有机废气时，一般采用吸收净化法和吸附净化法，这里我们主要介绍一下吸收净化法。 在我国很多工业生产的过程中，对含氟废气进行处理时，都会采用封闭循环水吸收和碱液吸收工艺。处理过程为：吸收器出来的尾气经旋风除沫，然后在进入洗涤塔，进入洗涤塔后，用污水循环泵将吸收液循环，用于进一步吸收。尾气净化后，再经过除沫器，后由风机送入尾气烟囱进行排空。在此过程中，由洗涤塔出来的含氟污水，会有一部分经循环泵进行自身循环，还有一部分会用泵送入旋风除沫器，进入除沫器的一部分含氟污水，在除沫器内会进液接触吸收。
实验室废气采用了敞开式集气罩和半敞开式通风柜进行收集，为将废气收集，需提高集气罩罩口风速和通风柜风速，因而导致废气的收集风量较大，一个实验室通常设置2-8个通风柜，单个通风柜风量约为2000m3/h，因而单个实验室废气风量约为4000～16000m3/h。由于废气的风量较大，实验室使用剂量较小，造成废气具有风量大浓度低的特点。
催化焚烧工艺
催化焚烧是使用催化剂下降废气中有机物的活化能，使有机物在较低的温度（一般在250～300oc左右，不同成分的有机物，其催化焚烧温度不一样）下发生无火焰焚烧。其原理是废气经过催化剂时，先被吸附至催化剂外表，废气治理工程，然后在一定的温度下发生催化焚烧，到达净化的目的。目前有机废气处理中常用的催化一般为蜂窝状钯金属催化剂和铂金属催化剂，催化焚烧方法有电加热和燃气加热，焚烧类型有直接催化焚烧（co）和蓄热式催化焚烧（rco）。催化焚烧一般适用于小风量、高浓度、高温的气态有机物，且废气中不能含有硫、铅、、及卤素等可使催化剂的因子。
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