曾有研究------，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成---盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。 所以，废气设备售后，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的hf和sif，经常会用---、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的---转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
实验室废气采用了敞开式集气罩和半敞开式通风柜进行收集，为将废气收集，需提高集气罩罩口风速和通风柜风速，因而导致废气的收集风量较大，一个实验室通常设置2-8个通风柜，单个通风柜风量约为2000m3/h，因而单个实验室废气风量约为4000～16000m3/h。由于废气的风量较大，实验室使用剂量较小，造成废气具有风量大浓度低的特点。
油漆喷涂过程中产生的废气主要为挥发性有机化合物，包含---、以及等，对于水性漆喷涂产生的废气，主要采用rto或者tnv方式进行处理。
rto为蓄热式焚烧设备，tnv为直然式焚烧设备。tnv由三部分构成：废气焚烧系统、循环风供热系统以及新风换热系统，其工作原理为有机废气换热器在进行相关预热处理的前提下，顺利地达到燃烧室当中，通过燃烧设备的加热高温处理会把有机废气转变成---和水，温度较高的烟气经换热后通过烟道排放出去，同时，换出的热会用于给烘干室的循环风提供热能，为整个烘干室供应充分的热能。其中，系统末端的位置进行新风换热装置的合理性设置，把整个系统中的热量进行回收，后再把烘干室中的烟气进行加热处理，随后送达烘干室当中。
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